Kashiyama 乾式幫浦廣泛應用於台灣半導體廠的 CVD、PVD 製程， 定期維修時常需要更換精密零件。 奎邦精機廠長期供應 Kashiyama 維修零件，本文整理最常見的零件問題與選購重點。
Kashiyama 乾式幫浦常見維修零件
根據奎邦的供應經驗，Kashiyama 乾式幫浦最常需要維修的零件依序為：
一、聯軸器（Shaft Coupling）選購重點
聯軸器是 Kashiyama 乾式幫浦最常被更換的零件之一，主要原因是長期高速旋轉導致的疲勞磨損， 或安裝時對中不良造成的偏磨。
尺寸確認方法
- 軸孔直徑（D）：使用遊標卡尺量測幫浦端軸徑，通常為 20~40 mm。
- 軸孔長度（L）：量測軸伸出法蘭面的長度，確保聯軸器有足夠配合長度。
- 扭矩需求：查閱 Kashiyama 技術手冊確認額定扭矩，奎邦 SC-7710 適用 20~200 Nm 範圍。
注意：Kashiyama 各系列型號的聯軸器規格不同。 安裝前請確認鍵槽位置（有鍵 vs 無鍵）和固定方式（螺絲迫緊 vs 脹環）。
二、配流板（Port Plate）更換時機
配流板的磨損通常表現為：
- 幫浦極限真空度下降（如從 10⁻³ mbar 退化到 10⁻² mbar）
- 啟動時間變長
- 抽氣曲線不穩定
- 幫浦溫度異常升高
奎邦的 PT-0031 配流板採用鋁合金基材 + 硬質陽極氧化（Hard Anodize）表面處理， 硬度達 HV 350 以上，比原廠未處理件耐磨壽命提升約 30%。
三、O 型環與軸封的材質選擇
Kashiyama 乾式幫浦在半導體製程中常接觸腐蝕性氣體，O 型環材質選擇直接影響使用壽命：
| 材質 | 適用製程 | 耐熱（℃） | 奎邦供應 |
|---|---|---|---|
| FKM（氟橡膠） | 一般半導體製程（標準選擇） | 200 | OR-2001 |
| FFKM（全氟橡膠） | 高腐蝕性 HF、Cl₂ 製程 | 250 | 依需求報價 |
| EPDM（三元乙丙橡膠） | 臭氧、蒸汽環境 | 150 | 依需求報價 |
四、維修前的準備清單
- 確認機型全型號：Kashiyama 型號格式通常為 MGSA-200N、SDV-1000 等，型號不同零件尺寸不同。
- 備好技術文件（BOM）：原廠 Parts Book 列有所有零件料號，可直接向奎邦報料號詢價。
- 確認交期需求：標準件通常 3~5 個工作天，特殊規格件請提前 2 週詢問。
- 詢問量測報告：重要公差件（定子環、配流板）可要求附 CMM 量測報告。
- 確認最小訂購量：奎邦 MOQ 通常為 1 件，急件可加急處理。
常見問題（FAQ）
Q：Kashiyama 乾式幫浦聯軸器怎麼確認規格？
需要確認軸孔直徑、軸孔長度、外徑三個尺寸。通常印在聯軸器側面或幫浦技術文件上。奎邦的 SC-7710 適用 Kashiyama 標準系列，採購前請提供機型型號確認。
Q：Kashiyama 和 EBARA 的端蓋可以共用嗎？
不行。兩者密封槽位置、螺孔配置都不同，無法互換。採購時請務必指定機型。
Q：配流板有什麼作用？磨損了會怎樣？
配流板控制氣體進出腔室的時序，磨損後幫浦抽氣速率下降、溫度升高。建議每次大修時一併更換，避免影響製程真空品質。