Leybold（歐納）是德國知名真空技術品牌，DRYVAC 系列乾式幫浦在台灣半導體廠的 CVD、Etch、PVD 等製程中廣泛使用。 相較於 EBARA 和 Kashiyama，Leybold 零件在台灣的供應管道相對少，本文整理奎邦可供應的零件與規格確認方法。
Leybold DRYVAC 系列常見機型
台灣半導體廠常見的 Leybold 乾式幫浦型號：
- DRYVAC 100/200/300：中等抽速（100~300 m³/h），適用 CVD、Etch
- DRYVAC 600/1200：大抽速型，適用多腔室製程
- ECODRY 65/100/200：較舊款型號，部分零件與 DRYVAC 通用
不同型號的轉子葉片尺寸不完全相同，採購前必須確認完整型號。
主要維修零件與奎邦對應 SKU
| 零件名稱 | 奎邦 SKU | 適用型號 | 材質 | 更換頻率 |
|---|---|---|---|---|
| 轉子葉片 | RV-5001 | DRYVAC 200/300, ECODRY | 碳-石墨（標準 / HHC 升級） | 每次大修 |
| O 型環套件 | OR-2001 | DRYVAC 系列通用 | FKM / FFKM 可選 | 每次大修必換 |
| 配流板 | PT-0031 | DRYVAC 100/200, ECODRY | 鑄鋁，硬質陽極氧化 | 視磨損更換 |
| 機械密封件 | MS-6001 | DRYVAC 系列通用 | 碳化矽（SiC） | 12~18 個月 |
| 軸承座 | BH-7001 | DRYVAC 200/300 | 鑄鐵，H7 孔精度 | 視磨損更換 |
Leybold vs Varian 零件通用說明
Leybold DRYVAC 和 Varian（Brooks）的葉片式幫浦在設計上有相似之處， 部分零件尺寸接近但並非完全通用。奎邦的經驗整理如下：
✅ 通常可通用
- O 型環套件（依尺寸規格確認）
- FKM 碳化矽軸封（標準尺寸）
- 滾針軸承套件（ISO 標準尺寸）
⚠️ 需確認規格
- 轉子葉片（槽寬和高度需逐一確認）
- 配流板（孔位分布不同）
- 端蓋（密封槽位置不完全一樣）
❌ 不可通用
- 轉子總成（型號專屬）
- 定子殼體
- 冷卻水路零件（設計差異大）
Leybold 幫浦大修特別注意事項
- 冷卻水路密封（Cooling Seal）： DRYVAC 幫浦有獨立的冷卻水路，大修時需確認冷卻水進出口的 O 型環狀況。 若冷卻水滲漏進入幫浦腔室，會造成嚴重損害。
- 葉片高度磨損量測： Leybold DRYVAC 對葉片高度的公差要求較嚴，建議使用千分尺量測所有葉片的剩餘高度， 高度差異超過 0.5 mm 的葉片需全套更換，不可混用新舊葉片。
- ECODRY 老款型號備料困難： ECODRY 系列已停產多年，部分零件需要確認尺寸後訂製。 奎邦接受依圖面訂製，建議提前 4~6 週詢問。
常見問題（FAQ）
Q：Leybold DRYVAC 和 Varian 的轉子葉片可以通用嗎？
部分型號相近但需確認。DRYVAC 200/300 和 Varian DS 302/402 的葉片槽寬相近，但高度可能有差異。奎邦建議提供兩台機型的型號，讓我們確認規格再下單。
Q：Leybold 乾式幫浦大修需要哪些零件？
必換件：轉子葉片、O 型環全套、冷卻水路密封 O 型環。條件換：機械密封件、配流板、軸承座。奎邦可依型號出完整大修清單，1 個工作天報價。
Q：台灣哪裡買 Leybold 乾式幫浦零件？
奎邦精機廠（新竹市香山區）提供 Leybold DRYVAC 系列維修零件，小量起訂，1 個工作天報價，急件加急處理。Email：service@kueipang.com