新採購乾式真空幫浦時，工程師最常問的問題是「我的製程該選哪台？」。 選錯型號會導致抽速不足、壽命過短、或維修成本失控。 本文整理半導體常見製程的乾式幫浦選型對照，含品牌建議和預算評估。
選型三大維度
選擇乾式幫浦要看三個層面，缺一不可：
1️⃣ 製程氣體類型
決定材質選擇（FKM / FFKM、SiC、Carbon Vane）和是否需要耐腐蝕設計。
2️⃣ 所需抽速
由腔室容量和真空度需求決定。100 m³/h ~ 600 m³/h 為主流範圍。
3️⃣ 品牌與供應鏈
考慮設備整合性、廠內備料、維修零件可得性。
製程 × 推薦幫浦對照表
| 製程類型 | 典型氣體 | 抽速範圍 | 推薦品牌/型號 | 注意事項 |
|---|---|---|---|---|
| CVD（化學氣相沉積） | SiH₄, NH₃, WF6 | 150~300 m³/h | EBARA EDP-200/300, Edwards iXL220 | 需 N₂ purge 防積垢 |
| PVD（物理氣相沉積） | Ar, N₂（惰性為主） | 80~200 m³/h | Kashiyama MGSA, Varian DS | 磨損慢、O 型環選 FKM |
| Etch（蝕刻） | Cl₂, HBr, SF6, CF4 | 80~200 m³/h | EBARA ESA, Edwards iH | 必須耐腐蝕 + FFKM O 型環 |
| CMP（化學機械研磨） | Slurry 顆粒 + 純水 | 150~300 m³/h | Varian DS, EBARA CMP 專用版 | HHC 葉片 + SiC/SiC 軸封 |
| Diffusion（擴散爐） | N₂, O₂（高溫） | 60~150 m³/h | EBARA EDP-100, Kashiyama | 耐溫設計 + 排氣冷卻 |
| Implant（離子植入） | BF3, PH3, AsH3 | 100~200 m³/h | Varian（OEM 配套）, EBARA | 高毒氣體，需專用排氣處理 |
| LPCVD（低壓 CVD） | SiH₄, NH₃ | 200~400 m³/h | Edwards GXS, EBARA EDP-300 | 大流量設計 + 高真空 |
| LED MOCVD | TMG, NH₃, H₂ | 300~600 m³/h | Edwards iH 大流量版 | 耐腐蝕 + 大抽速 |
抽速計算簡易公式
乾式幫浦所需抽速可用以下公式估算：
S (m³/h) = V × ln(P₁/P₂) / t × 3.6
- S：所需抽速（m³/h）
- V：腔室容積（L）
- P₁：起始壓力（Torr，通常 760 大氣壓）
- P₂：目標壓力（Torr）
- t：抽到目標壓力的時間（秒）
範例：50L 腔室從大氣抽到 0.1 Torr，要求 60 秒內完成 → S = 50 × ln(7600) / 60 × 3.6 = 26.7 m³/h（理論值，實際選 1.5~2 倍餘裕，約 50~60 m³/h）。
品牌特性對照
Kashiyama
強項：日系設備整合（TEL、Hitachi）
適合：PVD、中等抽速應用
注意：大流量機型較少，CMP 較少見
Varian (Brooks)
強項：CMP 製程設計優化
適合：CMP、PVD、Implant
注意：葉片消耗品，需頻繁更換
Edwards (Atlas Copco)
強項：耐腐蝕設計（iH 系列）
適合：Etch、LED MOCVD、大流量
注意：價格較高，但壽命好
Leybold (歐納)
強項：歐系設備整合、DRYVAC 系列
適合：中型抽速、太陽能、LED
注意：台灣供應商較少，奎邦可供應
預算評估
- 100 m³/h 級：NT$ 80~120 萬
- 200 m³/h 級：NT$ 120~180 萬
- 300 m³/h 級：NT$ 180~250 萬
- 耐腐蝕版（iH 系列）：加價 30~50%
- 正常製程：機器原價的 8~12%
- CMP / 腐蝕性製程：12~15%
- 用奎邦副廠零件可省 40~60% 維修費
- PVD / Diffusion：3~4 年
- CVD / Etch：2~3 年
- CMP：12~18 個月
選型決策步驟
- 確認製程類型：CVD / PVD / Etch / CMP / Diffusion 等
- 計算所需抽速：用上方公式，加 1.5~2 倍餘裕
- 確認製程氣體：是否含腐蝕性，決定耐腐蝕版本
- 盤點現有設備：盡量維持品牌一致性，降低備料複雜度
- 評估維修便利性：確認副廠零件供應商（如奎邦）能否支援
- 確認原廠 vs 副廠混用比例：關鍵製程用原廠、備品用副廠
常見問題（FAQ）
Q：CVD 製程選哪台幫浦？
EBARA EDP-200/300 或 Edwards iXL220，150~300 m³/h。需配 N₂ purge 防積垢。腐蝕性 CVD（如 WF6）需 FFKM O 型環。
Q：CMP 製程選哪台幫浦？
Varian/Edwards/EBARA 的 CMP 專用版，HHC 葉片 + SiC/SiC 軸封。保養週期短（12~18 個月），備料要充足。
Q：Etch 製程選哪台幫浦？
EBARA ESA 或 Edwards iH 系列（耐腐蝕專用）。O 型環必須 FFKM，軸封 SiC/SiC，抽速 80~200 m³/h。
Q：新採購乾式幫浦預算多少？
100 m³/h 級 NT$ 80~120 萬；200 m³/h NT$ 120~180 萬；300 m³/h NT$ 180~250 萬。耐腐蝕版加 30~50%。